高纯、特种气体
高纯气体及特种气体行业分析解决方案（气体厂，研究所，电子，航天，核工业等）
LDetek公司等离子发射光谱法广泛应用于高纯气体、特种气体的分析领域，其检测器的高灵敏度以及高稳定性具有无可争议的优势，在痕量分析的实验室领域、在线分析领域在世界上具有重要的地位，广大客户如Linde,Air Liquide等知名跨国企业均是我们的客户。
一般特气的应用：
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分析项目
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杂质Impurities
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检测线
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备注
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UHP Kr
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H2、N2、O2+Ar、CO、CO2、CH4、CF4、Xe
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1-10ppb
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石英材质的PED检测器，没有腐蚀性，采用高性能的隔膜阀和特殊的ＥＦＣ电子流量控制系统，可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
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UHP Xe
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H2, N2, O2+Ar, CO, CO2,CH4, CF4,C2F6, Kr ,N2O, SF6
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1-10ppb
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石英材质的PED检测器，没有腐蚀性，采用高性能的隔膜阀和特殊的ＥＦＣ电子流量控制系统，可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
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UHP HCL&CL2
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H2,O2,N2,CH4,CO,CO2
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1-10ppb
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石英材质的PED检测器，没有腐蚀性，采用高性能的隔膜阀和特殊的ＥＦＣ电子流量控制系统，可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
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UHP SiH4 & GeH4
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CO2≤0.05,CO≤0.05,Ar≤0.5，C2H6≤0.15，H2≤20，He≤1,O2≤0.5，N2≤0.5，H2O≤0.5,CH4≤0.05
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1-10ppb
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石英材质的PED检测器，没有腐蚀性，采用高性能的隔膜阀和特殊的ＥＦＣ电子流量控制系统，可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
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UHP NH3
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CO≤0.1,CH4≤0.1,CO2≤0.1,Ar+O2≤0.1, N2≤0.1，H2O≤0.1,H2≤0.1
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1-10ppb
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石英材质的PED检测器，没有腐蚀性，采用高性能的隔膜阀和特殊的ＥＦＣ电子流量控制系统，可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
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UHP CF4
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H2、O2、N2、CO2、C2F6、SF6 等
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1-10ppb
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石英材质的PED检测器，没有腐蚀性，采用高性能的隔膜阀和特殊的ＥＦＣ电子流量控制系统，可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
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UHP SF6
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CF4,C3F8 ,O2,N2,CO2等
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1-10ppb
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石英材质的PED检测器，没有腐蚀性，采用高性能的隔膜阀和特殊的ＥＦＣ电子流量控制系统，可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
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UHP NF3
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O2+Ar≤5,N2≤5，CO2≤2，H2O≤1，CO≤2，HF≤1，SF6≤2，CF4≤40，N2O≤2
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1-10ppb
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石英材质的PED检测器，没有腐蚀性，采用高性能的隔膜阀和特殊的ＥＦＣ电子流量控制系统，可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
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UHP N2O
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H2O≤1，CO2≤0.5，N2≤1.5，O2 +Ar≤0.5，CH4≤0.1,，CO≤0.1
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1-10ppb
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石英材质的PED检测器，没有腐蚀性，采用高性能的隔膜阀和特殊的ＥＦＣ电子流量控制系统，可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
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UHP CHF3
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O2 ≤ 1.0, N2 ≤ 8.0, H2O ≤ 5.0, Acidity (as HF) ≤ 0.4, CO2 ≤ 5.0
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1-10ppb
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石英材质的PED检测器，没有腐蚀性，采用高性能的隔膜阀和特殊的ＥＦＣ电子流量控制系统，可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
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UHP CH2F2
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O2+N2 ≤ 50 , H2O ≤ 29 , Acidity (as HF) ≤ 0.3
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1-10ppb
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石英材质的PED检测器，没有腐蚀性，采用高性能的隔膜阀和特殊的ＥＦＣ电子流量控制系统，可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
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UHP BCL3
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O2<10 ,N2<20, CO<5, CO2<5,CH4<0.5, SiCL4<4
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1-10ppb
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石英材质的PED检测器，没有腐蚀性，采用高性能的隔膜阀和特殊的ＥＦＣ电子流量控制系统，可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
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UHP WF6
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N2<1,O2+Ar<0.5,CO<0.5,CO2<0.5,
CF4<0.5,NF3<0.5,SF6<0.5,SiF4<0.5
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1-10ppb
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石英材质的PED检测器，没有腐蚀性，采用高性能的隔膜阀和特殊的ＥＦＣ电子流量控制系统，可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
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