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高纯、特种气体

高纯气体及特种气体行业分析解决方案(气体厂,研究所,电子,航天,核工业等)

LDetek公司等离子发射光谱法广泛应用于高纯气体、特种气体的分析领域,其检测器的高灵敏度以及高稳定性具有无可争议的优势,在痕量分析的实验室领域、在线分析领域在世界上具有重要的地位,广大客户如Linde,Air Liquide等知名跨国企业均是我们的客户。

一般特气的应用:

分析项目
杂质Impurities
检测线
备注
UHP Kr
H2N2、O2+Ar、CO、CO2、CH4、CF4、Xe
1-10ppb
石英材质的PED检测器,没有腐蚀性,采用高性能的隔膜阀和特殊的EFC电子流量控制系统,可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
UHP Xe
H2, N2, O2+Ar, CO, CO2,CH4, CF4,C2F6, Kr ,N2O, SF6
1-10ppb
石英材质的PED检测器,没有腐蚀性,采用高性能的隔膜阀和特殊的EFC电子流量控制系统,可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
UHP HCL&CL2
H2,O2,N2,CH4,CO,CO2
1-10ppb
石英材质的PED检测器,没有腐蚀性,采用高性能的隔膜阀和特殊的EFC电子流量控制系统,可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
UHP SiH4 & GeH4
CO2≤0.05,CO≤0.05,Ar≤0.5,C2H6≤0.15,H2≤20,He≤1,O2≤0.5,N2≤0.5,H2O≤0.5,CH4≤0.05
1-10ppb
石英材质的PED检测器,没有腐蚀性,采用高性能的隔膜阀和特殊的EFC电子流量控制系统,可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
UHP NH3
CO≤0.1,CH4≤0.1,CO2≤0.1,Ar+O2≤0.1, N2≤0.1,H2O≤0.1,H2≤0.1
1-10ppb
石英材质的PED检测器,没有腐蚀性,采用高性能的隔膜阀和特殊的EFC电子流量控制系统,可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
UHP CF4
H2、O2、N2、CO2、C2F6、SF6 等
1-10ppb
石英材质的PED检测器,没有腐蚀性,采用高性能的隔膜阀和特殊的EFC电子流量控制系统,可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
UHP SF6
CF4,C3F8 ,O2,N2,CO2等
1-10ppb
石英材质的PED检测器,没有腐蚀性,采用高性能的隔膜阀和特殊的EFC电子流量控制系统,可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
UHP NF3
O2+Ar≤5,N2≤5,CO2≤2,H2O≤1,CO≤2,HF≤1,SF6≤2,CF4≤40,N2O≤2
1-10ppb
石英材质的PED检测器,没有腐蚀性,采用高性能的隔膜阀和特殊的EFC电子流量控制系统,可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
UHP N2O
H2O≤1,CO2≤0.5,N2≤1.5,O2 +Ar≤0.5,CH4≤0.1,,CO≤0.1
1-10ppb
石英材质的PED检测器,没有腐蚀性,采用高性能的隔膜阀和特殊的EFC电子流量控制系统,可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
UHP CHF3
O2 ≤ 1.0, N2 ≤ 8.0, H2O ≤ 5.0, Acidity (as HF) ≤ 0.4, CO2 ≤ 5.0
1-10ppb
石英材质的PED检测器,没有腐蚀性,采用高性能的隔膜阀和特殊的EFC电子流量控制系统,可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
UHP CH2F2
O2+N2 ≤ 50 , H2O ≤ 29 , Acidity (as HF) ≤ 0.3
1-10ppb
石英材质的PED检测器,没有腐蚀性,采用高性能的隔膜阀和特殊的EFC电子流量控制系统,可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
UHP BCL3
O2<10 ,N2<20, CO<5, CO2<5,CH4<0.5, SiCL4<4
1-10ppb
石英材质的PED检测器,没有腐蚀性,采用高性能的隔膜阀和特殊的EFC电子流量控制系统,可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。
UHP WF6
N2<1,O2+Ar<0.5,CO<0.5,CO2<0.5,
CF4<0.5,NF3<0.5,SF6<0.5,SiF4<0.5
1-10ppb
石英材质的PED检测器,没有腐蚀性,采用高性能的隔膜阀和特殊的EFC电子流量控制系统,可以确保仪器的高灵敏度和高稳定性。

 
 
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